MKS液位傳(chuán)感器

一 、美國MKS公司(sī)簡(jiǎn)介
在MKS，他們有(yǒu)著悠久的歷(lì)史 ，可以利(lì)用(yòng)他們的集(jí)體好(hǎo)奇心來(lái)理解和開發解決(jué)方(fāng)案，這些解決(jué)方(fāng)案是許多關鍵技術創新的核心 。這些創新推(tuī)動(dòng)了半(bàn)導體 ，工業(yè)，生命與健康科學 ，研究(jiū)和國防市場的加速路線圖(tú) 。他們的使命是成為(wéi)創新的和可信賴的合(hé)作夥伴，以突破可能性的界限(xiàn)。創新是他們潛在的增長(zhǎng)引擎–發明(míng)導致新產(chǎn)品(pǐn)的推(tuī)出，從而導致設計獲勝，從而帶來(lái)長(zhǎng)期收入。他們對創新的不懈關注始於(yú)花時間真正瞭解客戶最(zuì)複雜的問題，然後設計創新的解決(jué)方(fāng)案來(lái)解決(jué)它們 。

MKS Instruments與薄膜，加工製造 ，環(huán)境監測和生命科學行業(yè)的客戶合(hé)作 ，為(wéi)他們最(zuì)嚴峻的技術挑戰開發突破性的解決(jué)方(fāng)案。他們的工作使他們的客戶獲得(dé)更大的成功 ，使他們的社會(huì)更加安(ān)全和高效 。MKS成立於(yú)1961年 ，是一家成功而受人尊敬的公司(sī)。他們分為(wéi)兩個部門：真空和分析(xī)部門 ，在壓力測量(liàng)，功率，等離子體，流量(liàng) ，化學，自動(dòng)化以及(jí)控制和分析(xī)方(fāng)面擁有(yǒu)廣泛的技術;以及(jí)光與運動(dòng)部門，在激(jī)光，光子儀器 ，亞微米定位 ，振動(dòng)隔離和光學方(fāng)面擁有(yǒu)廣泛的技術 。

二、美國MKS部分產(chǎn)品(pǐn)介紹
1 、美國MKS Micro-Baratron®高壓 ，超淨(jìng)，單端壓力傳(chuán)感器
①電(diàn)容壓力計是可以測量(liàng)壓力和真空度的機電(diàn)式(shì)壓力計。電(diàn)容表將薄膜中的壓力調制運動(dòng)轉(zhuǎn)換成與壓力成比例的電(diàn)信號 。壓力傳(chuán)感器是薄的隔膜 ，通過(guò)入口(kǒu)管暴露在壓力或(huò)真空下 。電(diàn)極(jí)安(ān)裝在隔膜後面的參考腔中 。過(guò)程與參考腔之間的壓力差會(huì)使隔膜稍微偏斜 ，從而改變了隔膜與電(diàn)極(jí)之間的距離。該距離的變化會(huì)在隔膜和電(diàn)極(jí)之間產(chǎn)生電(diàn)容變化 ，從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電(diàn)信號。
②AA07A/AA08A傳(chuán)感器非常適(shì)合(hé)用(yòng)於(yú)將超純氣體供入關鍵過(guò)程系統的輸送系統 。它們暴露在氣流中的濕表面的表面光潔度比Ra好(hǎo)5µin。這些換能器具(jù)有(yǒu)出色的乾燥特性
，並且在背景以上沒有(yǒu)顆粒。在製造和組裝後 ，將它們用(yòng)超淨(jìng)氮氣吹掃 ，然後在100級環(huán)境中進行兩次裝袋。
③AA07A/AA08A中的傳(chuán)感器採用(yòng)全Incoloy®結構 ，可實現較高的過(guò)壓容限(xiàn) ，從而減少了由於(yú)管路壓力峰值而引起的誤差。高爆破壓力等級有(yǒu)助於(yú)整體系統安(ān)全 。在現有(yǒu)的氣櫃和處理系統上，由於(yú)體積小
，行業(yè)標(biāo)准的端到端長(zhǎng)度以及(jí)這些傳(chuán)感器的電(diàn)氣接口(kǒu)選擇，使得(dé)更換普(pǔ)通百分表或(huò)性能較低的傳(chuán)感器變得(dé)容易。

2 、美國MKS 624F 1-1 ,000 Torr ，加熱(rè)(45°C)帶有(yǒu)脫扣點的絕對Baratron®電(diàn)容壓力計
①溫度控制在45°C ，讀數(shù)精度為(wéi)0.12%
②0至10 VDC模擬量(liàng)輸出 ，與絕對壓力成比例
③兩個可調過(guò)程跳閘點繼電(diàn)器
④直接測量(liàng)總壓力 ，與氣體成分無(wú)關
⑤所有(yǒu)Inconel®傳(chuán)感器耐(nài)腐蝕濕表面
⑥集(jí)成式(shì)集(jí)液槽提供顆粒保護

3 、美國MKS多氣體，多量(liàng)程，金屬密(mì)封，50-50 ,000 sccm的質量(liàng)流量(liàng)控制器
①流量(liàng)從5到50,000 sccm
②金屬密(mì)封，帶特氟(fú)龍閥塞(sāi)
③多種數(shù)字(ItherCAT ，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485)或(huò)模擬(0-5 VDC或(huò)4-20 mA)I/O
④標(biāo)准閉合(hé)電(diàn)導洩漏率小於(yú)滿量(liàng)程的1.0%
⑤少於(yú)750毫秒的建立時間

4 、美國MKS 901P MicroPirani™和壓電(diàn)式(shì)Loadlock真空壓力傳(chuán)感器
①絕對壓力測量(liàng)範圍為(wéi)1 ,000至10-5托
②單個傳(chuán)感器中的3傳(chuán)感器功能可實現廣泛的測量(liàng)範圍
③模擬 ，RS232 ，RS485和EtherCAT®版本
④可選的集(jí)成觸摸屏顯示器可用(yòng)於(yú)本地(dì)壓力指示
⑤快速 ，準確和可重復的壓力測量(liàng)縮短了處理週期
⑥具(jù)有(yǒu)快速響應時間的三個可選設定點，可實現可靠(kào)的過(guò)程控制

5 、美國MKS GPCA通用(yòng)壓力控制器
①設定點精度的百分比可實現精確的過(guò)程控制
②溫度補償壓力傳(chuán)感器保持精確度
③DeviceNet™，EtherCAT®或(huò)RS485通信
④嵌入式(shì)用(yòng)戶界面
⑤10µ英吋(cùn)電(diàn)拋光316L表面處理和金屬密(mì)封，適(shì)用(yòng)於(yú)高純度應用(yòng)

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